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測(cè)試精度高：高達(dá) 100nV/10fA 分辨率，電流量測(cè)精度最高可達(dá) 0.1%+50pA，電壓量測(cè)精度最高可 達(dá) 0.015%+300uV；提供正向/反向電流連續(xù)變化測(cè)試，提高測(cè)試精度。

  2）方形四探針?lè)ǎㄈ绶兜卤しǎ?/strong>

  范德堡法適用于扁平，厚度均勻，任意形狀且不含有任何隔離孔的樣品材料測(cè)試。相比較直線型四探 針?lè)?，?duì)樣品形狀沒(méi)有要求。測(cè)試中，四個(gè)探針接觸點(diǎn)必須位于樣品的邊緣位置，測(cè)試接線方式也是在其 中兩個(gè)探針點(diǎn)提供恒定電流，另外兩個(gè)點(diǎn)量測(cè)電壓。圍繞樣品進(jìn)行 8 次測(cè)量，對(duì)這些讀數(shù)進(jìn)行數(shù)學(xué)組合來(lái) 決定樣品的平均電阻率。詳細(xì)測(cè)試方法可參見 ASTM 標(biāo)準(zhǔn) F76。

  總結(jié)：利用 IT2800 系列高精密源/測(cè)量單元可以精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體薄層電阻的電阻率測(cè)試，為半導(dǎo)體制 造工藝的改進(jìn)提供數(shù)據(jù)依據(jù)。IT2800 SMU 因其高精度測(cè)量和豐富的探針臺(tái)治具優(yōu)勢(shì)，為行業(yè)提供專業(yè)的 測(cè)試解決方案。